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碳化硅激光退火設備
本設備用于碳化硅的歐姆退火工藝，具備裸片自動上下料、晶圓自動校準等功能。 加工工藝效果優異；加工效率高；設備運行無需耗材，加工成本較低。
■ 設備優勢
◆ 激光器自制，自主可控
◆ 工藝窗口較廣，可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行業標準
■ 應用領域
應用于碳化硅晶圓片的背金激光退火（以碳化硅材料為基板的晶圓）。
更多信息
咨詢電話：0512-6507 0150
電子郵箱：yj.tao@delphilaser.com
