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Micro LED激光巨量轉移設備

該設備不僅可以保證激光巨量轉移過程中不對芯片造成損傷，而且還保證Micro-LED轉移落點精準并可按照需求設置轉移后Micro LED芯片陣列排布，并可以結合AOI&PL機臺mapping圖，高速準確選擇性轉移ok片。

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碳化硅晶錠激光切片設備

本設備用于碳化硅晶錠/片的激光切片加工，激光加工完成后配合輔助的分片裝置，完成晶片切割后的分片。材料損耗小，加工效率高，設備運行無需耗材，加工成本低。

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碳化硅激光退火設備

本設備用于碳化硅的歐姆退火工藝，具備裸片自動上下料、晶圓自動校準等功能。加工工藝效果優異；加工效率高；設備運行無需耗材，加工成本較低。

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Micro LED激光剝離設備

本設備是利用激光剝離技術對Micro LED 晶圓進行剝離加工

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碳化硅晶圓激光切割設備

應用于航天航空、電力電子等行業微波器件，功率器件的晶圓片的切割（以碳化硅材料為基板的晶圓）

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晶圓激光應力誘導切割設備

本設備是利用應力誘導切割技術對Mini LED 晶圓進行切割加工

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飛秒激光精細微加工設備

本設備激光精密微細加工系統主要用于薄片金屬切割、鉆孔微納群孔制作，各種材質的鉆孔、切割及劃線加工。

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激光精細加工設備

本設備是利用激光對各種材料進行異形切割，鉆孔，刻蝕等多種形式的加工處理平臺

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