Micro LED激光巨量轉移設備
該設備不僅可以保證激光巨量轉移過程中不對芯片造成損傷,而且還保證Micro-LED轉移落點精準并可按照需求設置轉移后Micro LED芯片陣列排布,并可以結合AOI&PL機臺mapping圖,高速準確選擇性轉移ok片。
■ 設備參數
◆ X軸:行程400mm,解析度0.1μm
◆ Y軸:行程400mm,解析度0.1μm
◆ Z軸:行程20mm,解析度0.1μm
◆ θ軸:行程120°,解析度0.0001°
◆ 轉移作用材質:Micro-LED器件-特定基板
◆ 加工產品尺寸:根據客戶要求定制
■ 設備優勢
◆ 良率高
◆ 效率高
◆ 全自動三色上下料
■ 應用領域
應用于新型顯示行業的激光巨量轉移,通過直轉/二次轉移等方式將三色芯片轉移到基板上。
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