玻璃晶圓激光切割設(shè)備
本設(shè)備是利用可見光或者紅外波段的激光對鍍膜玻璃,普通玻璃等透明材料進行隱形切割
■ 設(shè)備參數(shù)
◆ 激光種類:半導體泵浦皮秒激光器(532nm&1064nm)
◆ 激光功率:≥5W
◆ 冷卻方式:封閉式循環(huán)水冷
◆ X軸:行程300mm,解析度0.1μm
◆ Y軸:行程280mm,解析度0.1μm
◆ Z軸:行程5mm,解析度1μm
◆ θ軸:行程120°,解析度0.001°
◆ 最大切割厚度:1.2mm
◆ 上下料方式:全自動上下料
◆ 切割軸速度:0-800mm/s
◆ 激光切割崩邊:< 20μm
◆ 切割截面微裂紋:<10um
■ 設(shè)備優(yōu)勢
◆ 切割速度快,大幅提高產(chǎn)能
◆ 切割效果好,品質(zhì)高,良率提升明顯
◆ 設(shè)備無需任何耗材,使用成本優(yōu)勢明顯
■ 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于攝像頭行業(yè)的鍍膜玻璃(濾光片)的直線切割;
適用于電子,醫(yī)療,顯示行業(yè)的1mm以內(nèi)普通材質(zhì)玻璃或者透明材料的直線加工
■ 加工效果示例圖
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